基于近红外微光谱仪的MEMS扫描微镜闪耀光栅建模与仿真

近红外微光谱仪(NIRMS)作为各种元素的重要检测设备已得到研究 在过去几年间。 传统的MEMS NIRMS使用CCD阵列检测器来收集NIR光谱, 导致更高的制造成本。 在本文中,为了确保更高的衍射效率以及更低的制造成本, 提出了一种基于MEMS扫描微镜的新型闪耀光栅。 根据我们的设计方法,NIRMS 仅需一个InGaAs检测器光电二极管即可收集NIR光谱并确保高衍射效率。 我们的结果表明,闪耀光栅的衍射效率接近50%,峰值在90%时达到90%。 在900-2,100 nm的范围内,而光学扫描角为±14.2 o 。