阳极预电离改善准分于激光器放电均匀性

Name: 阳极预电离改善准分于激光器放电均匀性
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Author: qq_62177

上传者：qq_62177 2021-04-24 03:10:41上传 PDF文件 890.31KB 热度 39次

提出了准分子激光器阳极预电离方案,并在实验上证实了阳极预能有效地改善放电均匀性,同时使激光输出能量略有提高。

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