基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器方法研究

拼接镜面共相技术是大口径望远镜研制中的关键技术之一,共相精度主要取决于边缘传感器的测量精度。针对大口径拼接镜面望远镜的共相需求,提出了一种基于光学等厚干涉原理的边缘传感器设计方案,阐述了基本原理并给出了该边缘传感器的结构图。利用数据拟合和图像处理方法,对该方案进行了仿真模拟,仿真结果显示该方案的测量精度可以达到倾斜误差0.02"、平移误差20nm,可以满足大口径拼接镜面望远镜的共相检测需求。