激光诱导等离子体加工石英微通道的实验与理论研究

利用调Q的Nd:YAG激光器输出的1064 nm纳秒脉冲激光聚焦在石英上采用激光诱导等离子体法加工微通道,加工出的微通道在显微镜下没有观察到热裂纹,通道深度可达4 mm。强激光辐照石英,石英吸收激光能量气化、电离,形成等离子体,发生光学击穿,高温等离子体烧蚀石英形成微通道。研究了强激光辐照下等离子体形成的机理以及介电常数、折射率、反射率等光学性质,分析了光学击穿的关键自由电子密度,并计算了光学击穿长度。