PCB多层板等离子体处理技术

等离子体,是指像紫色光、霓虹灯光一样的光,也有称其为抄板物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态,所以具有相当高的能量。 (1)机理: 在真空室内部的气体分子里施加能量(如电能),由加速电子的冲撞,使分子、原子的外层电子被激化,并生成离子,或反应性高的自由基。 如此产生之离子、自由基被连续的冲撞和受电场作用力而加速,使之与材料表面碰撞,并破坏数微米范围以内的分子键,诱导削减一定厚度,生成凹凸表面,同时形成气体成分的官能团等表面的物理、化学变化,提高镀铜粘结力、除污等抄板作用。 上述等离子体处理用气体常见的有氧气、氮气和四氟化碳气。下面通过由