基于移相算法的玻璃应力延迟量快速测量方法

为了测量光学玻璃的全场应力延迟量,提出了一种基于移相算法和自准直光路系统的应力测量方案。测试光两次通过被测件使应力信息放大1倍。根据应力条纹图对比度选定移相步长,分析一组具有高对比度的移相应力条纹图实现方砖延迟量的全场分布测量。通过仿真得到该方法的测量精度达0.2nm/cm,测量结果显示退火方砖的中间区域应力延迟量为3nm/cm,边沿区域为9nm/cm。采用该方法,可以快速实现应力延迟量的全场高精度测量。