基于轮廓仪测量数据的非球面方程反演技术

求取未知参数或有面形误差的实际非球面光学零件面型方程,在非球面加工精度分析、光学系统成像质量分析、拆解分析光学镜头等方面都有实际需求。分析了Taylor Hobson轮廓仪测量数据格式,采用遗传算法,根据测量数据反演非球面的方程,对反演过程中采取的关键技术进行了分析。编制软件实现了非球面方程的反演,验证了所提方法的可行性。