基于改进的自抗扰控制器的平面磁悬浮级的悬浮控制

悬浮控制,改进的自动干扰抑制控制器。 抽象的。 在本研究中,我们提出了一种磁悬浮定位平台,用于微电子制造和精密加工中的高精度定位和扫描任务。 该阶段由一个推力系统和一个悬浮系统组成,后者是一个与每个终端磁轴承的悬浮高度和动子的瞬时平面位置都紧密相关的强耦合和非线性MIMO系统,是我们研究的重点。 该悬浮系统的动力学模型非常复杂,很难通过线性控制理论来获得理想的控制精度和鲁棒性,因此,设计了一种改进的自扰抑制控制器来实现去耦和扰动抑制并克服了粗糙特性。自动干扰抑制控制器的原理。 仿真和实验表明,改进后的自扰抑制控制器的性能优于传统的自扰抑制控制器,具有更好的动态,静态和鲁棒性。