Wolter I型反射镜面形检测装置的改进

研制出基于长程轮廓测量仪原理的Wolter I型反射镜面形检测装置。为提高该装置测量精度,重点介绍在原有装置基础上所做的扫描光学系统结构和探测器件两方面的改进。利用五角棱镜的光学特性消除导轨运动误差;用位置敏感探测器替代CCD探测器,提高面形检测装置的理论测量分辨率。对改进后新面形检测装置进行定标和样品实测实验,并与原实验数据进行比较。结果表明:新面形检测装置倾斜度测量均方根误差为1.7 μrad,轮廓高度测量误差峰谷(PV)值为56 nm,测量精度明显提高。为下一步精细加工Wolter I型反射镜面形奠定了基础。