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飞秒激光增强湿蚀刻Craft.io在曲面上直接制造复眼微透镜阵列

上传者: 2021-04-17 20:29:56上传 PDF文件 256.44KB 热度 10次
我们报告了飞秒激光增强化学蚀刻Craft.io在弯曲的基板上直接制造全向负微透镜阵列,该Craft.io被用作复制生物灵感的复眼的成型模板。 飞秒激光玻璃玻璃基板的弯曲加工采用通用的xyz平台,无需垂直于激光束旋转样品表面,并且在氢氟酸蚀刻后会产生均匀,全向排列的负微透镜。 使用凹面玻璃基板上的负微透镜阵列作为模制模板,我们制作了一个人工复眼,在5000毫米半球中密堆积了3000枚直径为95 lm的正微透镜。 与转印过程相比,通过我们的方法直接在曲面模具上制造的负微透镜没有畸变,并且复制的人造眼具有清晰,均匀的成像能力。 这项工作为在任何弯曲的基板上制造微透镜提供了简便而有效的途径,而无需复杂的对准和运动控制过程,这为开发新的基于微透镜的设备和系统提供了潜力。
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