具有可控制的长宽比和球形形态的矩形微透镜阵列的经济高效且灵活的制造

本文提出了一种利用飞秒激光湿法刻蚀和复制技术开发可控形状的凹凸微透镜阵列的经济高效且灵活的方法。 通过使用800 nm飞秒激光首先在石英玻璃上引入周期性微凹坑,然后将其扩大为在氢氟酸(HF)酸溶液中具有光滑曲面的微透镜,从而获得具有不同长宽比的周期性凹面矩形微透镜阵列。 凹形微透镜可以用作复制模,以在聚合物上获得凸形微透镜。 可以在5小时内制造超过10,000个长宽比可控制,高填充因子和球形形态的矩形凹凸微透镜。 仿真结果和投影实验结果验证了这些矩形球形微透镜阵列(MLA)的光学性能。