基于ProtelDXP一体化方法的数字流量控制器设计.pdf )

本文所设计的D07 系列流量控制器属于 一种工业自动化仪表, 可以对各种气体进行精 确的测量和控制, 大量应用于半导体及集成电 路生产线上的扩散、氧化、外延、CVD 等离子刻 蚀等工序设备中. 目前的设计方法主要是采用 传统的Pr otel 设计、制版、焊接和调试, 各个环 节分步进行, 设计效率低, 可靠性差, 故障检测 困难. 采用Protel DXP 一体化方法可以将上述 各个设计环节一次完成, 极大地提高了设计效 率和可靠性, 有很好的推广价值.