具有固体硅针的柔性微针电极阵列

我们提出了一种新颖的制造Craft.io来制造柔性微针电极阵列。该方法包括使用绝缘体上硅衬底创建硅微针电极阵列,然后使用聚对二甲苯膜作为支撑材料将其释放。所提出的结构提供聚对二甲苯薄膜的柔韧性和硅结构的刚性。使用组织渗透测试和阻抗谱,我们证明了这种结构在有创神经电刺激和记录中很有前途。