激光产生的阻容网络

激光加工是制作集成阻容(RC)网络新技术的基础。该技术是在有400埃厚锌层的金属化聚脂薄膜做成的电容片上用激光加工非导电通道产生电阻图案。在操作条件下,这种网络的可靠性在很大程度上取决于激光加工线提供的电绝缘性。要术在加工线边缘金属膜有良好的粘着,无松散的金属颗粒。这就需要仔细控制激光脉冲强度和光斑迭合。对激光加工参量的更进一步限制是因6微米厚的聚脂薄膜(网络的解电体)不许因蒸发金属膜而引起热损伤所卡住的。本文将讨论激光产生的网络的激光加工的概貌和激光形成网络的电特性。