1969 年,美国加州大学伯克利分校空间科学实验室和核能工程系的S. M. Beadair 和Harold P. Smith, JR. 首次提出激光清洗的概念。尽管激光清洗的出现最早可追溯到20 世纪60 年代,但针对这种创新型清洗技术的研究和应用是从20 世纪90 年代开始逐步扩大的。在过去20 多年的时间里,国内外均有关于激光清洗技术的报道。在工业应用领域,随着激光器的高速发展、人们对激光清洗机理研究的不断深入,表面质量监测与表征方法日趋完整全面,激光清洗材料表面质量得到提升,清洗精度和效率也逐渐增加。如今,它已经成为能够清洗大量不同基材表面的可靠技术。
