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光外差法正弦尺干涉测角计

上传者: 2021-04-07 01:08:38上传 PDF文件 4.96MB 热度 5次
本文介绍用稳频横塞曼激光(STZL)作光源,研制了光外差法正弦尺干涉测角计装置,提出校正测角灵敏度的一种方法,并用此装置测量压电陶瓷(PZT)的滞后特性。
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