一种光机系统结构稳定性评估方法

为了评估光机结构的长期稳定性,提出了一种偏移量解算的稳定性评估方案。首先进行数学建模,通过敏感矩阵建立了光机结构偏移量与系统波像差变化量的关系式,并给出了基于奇异值分解的偏移量求解方法。然后以微缩投影系统为研究对象,建立了敏感矩阵,在奇异值分解的基础上分析了像差奇异值向量与结构参数奇异值向量的对应关系。通过在实际搭建的微缩投影系统中人为引入偏移量,并与理论解算值进行对比,验证了方案的可行性。最后对系统长期稳定性进行了测试,为后续的结构优化提供了指导。