演示基于高效多模干涉的硅波导交叉

我们介绍了基于多模干涉(MM1)的高效硅波导交叉的设计,制造和表征。 通过绝缘体上硅(SOI)平台上的光栅耦合器仅一步蚀刻就可以形成交叉。 通过3D FDTD仿真可以预测出98.5%的高传输效率(-0.07 dB的损耗)和低串扰(<-43 dB)。 我们的实验结果表明,该仿真与仿真具有良好的一致性,并且在1520 nm至1580 nm的宽光谱范围内,每次穿越时的损耗为-0.1 dB,串扰优于40 dB。 这种低损耗,低串扰的波导交叉点适用于未来的片上光学互连。