基于二维亚波长光栅的偏振不敏感宽光谱高反镜的设计

提出了一种基于块状亚波长光栅的偏振不敏感宽光谱高反镜的设计方法。亚波长光栅的反射性能由光栅的结构参数即周期和占空比决定,优化周期和占空比值将使亚波长光栅在更宽的光谱范围内具有更高的反射率。采用严格耦合波分析法计算不同周期下光栅的反射率,再构造一个集合包含所有反射率超过99%的光栅周期值,运用迭代优化算法,减小集合的数据规模,从而快速确定最优的光栅周期值和它对应的占空比值。仿真结果显示,使用标准的绝缘体上硅(SOI)晶片制作的二维块状亚波长光栅反射镜将在182 nm的光谱范围内保持超过99%的反射率,同时光栅的反射特性与垂直入射光的偏振态无关,但是当入射角大于7°时在1439~1621 nm的波