亚波长消反射光栅

为了降低消反射光栅的偏振敏感性,将等效介质理论推广到二维亚波长结构,对一种特定的矩形柱状结构进行了分析。构造了一种分析方法,然后利用光栅结构的有关表达式得到这种二维结构的近似等效系数。并设计了适用于10.6 μm红外波段的二维亚波长消反射光栅,用二元光学的制作工艺在Si衬底上进行了实验制备。测试结果表明:对中心波长为10.6 μm的红外光,这种光栅象单层消反射膜一样,具有很好的增透效果。