电子束激励的高效率准分子KrF激光器

确定了电子束激励的KTF激光器获得高效率振荡的条件。指出,混合气体中Xe和O2两种杂质的存在不应超过0.01%。得到了工作混合气体最佳组成的经验表达式。在混合气压为3大气压和脉冲持续时间~80亳微秒的情况下,从0.45升的激活体积中得到激光能量为14.1焦耳,效率为9%(对激活体积中贮存的能量)。在激发比功率为1.25兆瓦(厘米3·大气压)下,确定了激活介质的增益系数和吸收系 数(分别为0.15和0.014厘米-1)。