KrF激光器的新记录:平均功率为200瓦
通用电话电子希尔伐尼亚公司创造了氟化氪激光器平均输出功率的新记录——249毫微米处气体输运KrF系统产生的功率达210瓦。对KrF激光器来说,1千赫之重复率也是从未达到过的最高值。
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