软X射线聚焦波带片制备工艺的研究 上传者:yt96967yt 2021-03-29 09:18:15上传 PDF文件 765.42KB 热度 37次 利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软X射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳(Fresnel)波带片,给出了实验结果。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论