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软X射线聚焦波带片制备工艺的研究

上传者: 2021-03-29 09:18:15上传 PDF文件 765.42KB 热度 10次
利用全息光刻和离子束刻蚀技术制作了用于软X射线聚焦和色散的三种参数的高精度菲涅耳(Fresnel)波带片,给出了实验结果。
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