Ge和Al2O3封盖的Ge的热氧化的改进Deal Grove模型 上传者：HAN.Z.H 2021-03-25 18:22:13上传 PDF文件 617.36KB 热度 46次 通过关注Ge的氧化动力学和Al2O3封顶的情况,提出了一种考虑GeO解吸通量以及氧的扩散的改进的Deal-Grove模型。此外,介绍了从整个氧化过程中提取解吸通量的方法。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
