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两层介质减反膜及其在半导体光电器件中的应用

上传者: 2021-03-23 19:14:21上传 PDF文件 3.11MB 热度 10次
本文提出了两层介质减反膜的膜系设计方法,导出了用于半导体激光放大器的最佳减反膜系参数,分析了膜层厚度误差对膜系特性的影响,并在行波半导体激光放大器及光探测器上得到了满意的试验结果。
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