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50纳米以下碳纳米管场效应晶体管中氧化钇膜作为栅极电介质的探索

上传者: 2021-03-21 13:21:17上传 PDF文件 1.29MB 热度 3次
50纳米以下碳纳米管场效应晶体管中氧化钇膜作为栅极电介质的探索
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