增强等离子腔超透镜成像的结构化大体积等离子照明源的设计。

设计结构化体等离子体激元照明(BPI)源以实现均匀的高空间频率照明场。 通过采用由交替堆叠的金属和介电纳米层组成的双曲线超材料(HMM),可以发射深亚波长整体等离激元极化子(BPP)。 然后,将获得的BPP模式用作结构化照明源,以提高成像分辨率。 更重要的是,可以通过在原始BPI源中添加额外的Ag层来显着提高BPI强度。 当BPI光源照射两个纳米狭缝时,等离子体腔超透镜的成像分辨率明显提高。 尤其是,在原始BPI来源上添加了额外的Ag层后,可以发现图像对比度的明显改善。 拟议中的BPI源有望在近场超分辨率光刻中具有一定的潜力。