适用于HIT太阳能电池应用的高纹理导电和透明ZnO膜

在本文中,通过射频磁控溅射在0.15-0.46 Pa的不同工作压力下,在玻璃和硅基板上制备了铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜。并仔细研究了沉积的AZO膜的光学性质。 较低的工作压力更有利于较大的晶粒尺寸,光滑的表面,低电阻率和适度的光学透明性。 对于在较低工作压力下沉积的AZO膜,较大的晶粒尺寸可归因于溅射粒子的较高动能,而较低的电阻率则与较大晶粒尺寸引起的较少晶粒边界的存在以及更多有关。薄膜中掺杂剂的活化量。 然后,我们将沉积了0.15 Pa的AZO膜应用于具有本征薄层(HIT)太阳能电池的Al / AZO / na-Si:H / ia-Si:H / pc-Si / Al异质结Si太阳能电池,并通过酸蚀。 酸化处理后的HIT太阳能电池的外部量子效率(EQE)值比具有平滑AZO膜的外部量子效率更高,主要是在300至500 nm的波长范围内,导致转换效率从14.1%显着提高到14.7%。