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微波激励CO

上传者: 2021-03-15 02:20:42上传 PDF文件 941.38KB 热度 7次
提出一种放电结构和理论模型,对表面波发生器的表面波放电等离子体特性进行了分析。在给定的工作气压、注入微波功率及所吸收的外场功率情况下,利用这一理论可以求出放电管内电子密度、电子温度以及微波电场强度的绝对值和径向分布。分析表明,这种放电结构很适于CO2激光器高效率的微波激励。
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