电子束直写制作低效取样光栅

低效取样光栅是激光取样技术的一种重要元件,它可以看成离轴的二相位的菲涅耳波带板。基于菲涅耳波带板的形成原理,对取样光栅的变周期环带结构进行了理论分析,推导出取样光栅的透过率函数。并在此基础上,采用电子束直写加工光栅掩模,制作取样光栅。该方法与一般的光学全息方法相比,具有设计灵活、重复性好、适于大批量生产等优点。