2 mm视场的掠入射KBA X射线显微镜设计

KBA(即改进的KB)X射线显微镜是一个非共轴掠入射反射成像系统。它由一组互相垂直的球面反射镜组成。为了减少视场倾斜,提高成像质量,必须确定掠入射角和确定光阑的位置。因此编制了一套程序分析了他们对成像质量的影响。根据分析的结果我们设计了一套KBA显微镜系统,它是一种消像散系统,且使像面倾斜明显降低,在2 mm视场的范围内,分辨率可以达到5~7 μm。