立式MOCVDReact器带环槽基座结构的热输运模拟

提出了一种用于立式感应加热MOCVDReact器的传统圆柱状石墨感受器上带有环形凹槽的新型感受器结构,旨在将感受器的内部热量分为两部分,其中一部分蓄积在上部,另一部分积聚在下部的凹槽。 通过使用有限元方法(FEM)优化并验证了改变基座中导热方向的环形凹槽的形状。 与传统的基座相比,优化的基座提高了晶片中温度分布的均匀性,从而提高了生长特性。