CD R光盘盘基槽深和槽宽均匀性测试方法研究

介绍了一种利用衍射方法测试CD-R光盘盘基槽深和槽宽均匀性的方法.CD-R光盘盘基槽深和槽宽均匀性的测试对于CD-R光盘的制造非常重要,它可反映出母盘涂胶、刻录、显影、金属化、电铸及盘基复制的质量.尽管它不能精确测试沟槽的形状,但在测试均匀性时却显得简单、可靠、灵敏、快速和无损.同时给出同一盘基用衍射方法和原子力显微镜方法的测试结果.