高速高稳定性光学延迟线装置

为提高基于渐开线原理的快速光学延迟线(FODL)装置的扫描频率和延迟时间,提出一种具有高速及高稳定性特点的光学延迟线装置,分析了延迟线装置装配误差引起的出射光束角度偏转和光程差变化。通过迈克耳孙干涉系统验证装置的扫描频率、延迟时间、延迟平稳性和延迟线性度四个方面的特性。实验结果表明,延迟线装置的装配精度较高,可实现高速高稳定性扫描和较大的光学延迟,其扫描频率为100 Hz,延迟时间为167.45 ps,延迟距离为50.06 mm,平稳性误差为0.25%,线性度误差为0.05%。