超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法 上传者：yuji96685 2021-02-26 19:42:22上传 PDF文件 5.38MB 热度 44次 提出了一种基于空间像主成分分析的超大数值孔径光刻机投影物镜波像差检测方法。通过采用偏振光照明和矢量光刻成像模型并考虑投影物镜的偏振像差,准确表征了超大数值孔径光刻机的空间像,从而提高了像差检测模型的精度,实现了超大数值孔径光刻机投影物镜33项泽尼克像差(Z 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
