用于光束整形的环带相位型光瞳滤波器

高数值孔径物镜下,必须采用矢量衍射方法研究焦点区域的光强分布。根据矢量衍射理论,研究了利用三环相位光瞳滤波器实现光束整形的技术。通过对数值孔径为0.85的物镜焦点区域光强分布的数值模拟,利用优化搜索算法得到了可以实现光束整形的三环相位结构。模拟结果表明,利用三环相位光瞳滤波器,不仅可以在焦面上实现光强的平顶分布,而且还可以得到单环衍射光束。分析了归一化半径和相位变化对光束整形质量的影响,发现通过改变归一化半径,不仅能够控制单环衍射光束的半径大小,还可以改变焦点光强的强弱。