太阳能电池光管理用异型分布布拉格反射镜设计与制作技术

根据多光束干涉原理,基于迭代算法,设计出用于异质结太阳能电池的异型分布布拉格反射(IDBR)结构。通过优化设计S1(500 nm+800 nm)、S2(500 nm+900 nm)、S3(500 nm+1000 nm)、S4(500 nm+800 nm+1000 nm)4种不同中心波长组合的异型布拉格背反射结构,发现S3具有最佳宽频带高反射效果,该异质结由两对非晶硅(32 nm)/氮化硅(61.78 nm)分布式布拉格反射(DBR)结构与三对非晶硅(64 nm)/氮化硅(123.57 nm) DBR结构组成。借助等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法在异质结太阳能电池背面生长出具有五对α