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硅、锗片的激光损伤及加固研究

上传者: 2021-02-25 22:00:39上传 PDF文件 1.27MB 热度 9次
利用YAG脉冲激光在二种脉宽下(10 ns、250μs),对Si、Ge片进行了损伤研究,分别给出了表面损伤机制,并利用镀金钢石膜、介质膜和激光预辐照进行加固,讨论了加固效果。
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