128×128凹型GaAs微透镜阵列器件的制作研究 上传者：echosdn 2021-02-25 19:57:40上传 PDF文件 115.66KB 热度 32次 提出了一种制作128×128球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法&&曲率倒易法.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列,表面探针测试结果显示阵列表面光滑、单元重复性好,其凹深为1.268μm,焦距为-352.04μm. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
