FBAR的三种模型

常用的 FBAR 模型有三种:Mason 模型、BVD 和 MBVD 模型。 Mason 模型基于是 FBAR 的物理模型,BVD 和 MBVD 模型是 FBAR 的行为模型 Mason 模型 Mason 模型是一维的物理模型。可以很好的表征出 FBAR 的每一层物理结构。 压电材料模型可以理解为在非压电材料的电学模型(下左图)上,增加声 / 电转换电路(下右图)。 在这个电路基础上,可以再添加顶电极层、底电极层、支撑层等等,完成整个 FBAR 的等效电路,如下图。(计算网络终端阻抗的方法用的是微波电路里的传输线方程,这让我倍感亲切) Mason 模型的等效电路方程: 小结:给定