1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 用电子束刻划椭圆微型菲涅耳透镜

用电子束刻划椭圆微型菲涅耳透镜

上传者: 2021-02-25 15:46:29上传 PDF文件 1.2MB 热度 9次
松下电器中央研究所开发成功用电子束刻划椭圆微型菲涅耳透镜的制作技术,按其象散特性,尝试了将以往由组合透镜构成的象散光学系统薄形化的试验。如获成功,即制成具有菲涅尔透镜的薄膜结构,不仅使透镜系统小型轻量化、可与光探测器和分束器等光学元件集成,并且易于大量复制生产。特别是可将半导体激光的椭圆形输出光斑聚光成规则的圆形。
用户评论