聚合物双环谐振滤波器的研究

设计了一种基于多模干涉(MMI)耦合输入/输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器, 并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层, 聚合物CYTOP为下包层, 在硅基底上完成了器件的制备。器件的波导端面尺寸为2 μm×1 μm, 与设计值相符, 扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。直波导传输损耗的测试结果表明, 在1550 nm波长, 直波导传输损耗约为2.0 dB/cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明, MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50∶50的功分比, 微环谐振滤波器的通光性能良好, 实现了滤波功能, 器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94 n