激光和化学复合刻蚀加工表面质量的实验研究

利用激光烧蚀与化学腐蚀复合加工方法对试样进行实验加工,来研究激光脉冲能量、脉冲宽度、重复频率和激光束扫描速度等参数对金属试样加工表面形貌的影响规律和机理,并研究了腐蚀介质种类和其浓度对加工表面质量的影响。结果表明,化学腐蚀可以大大减少试样加工表面的熔渣,对降低表面粗糙度起到良好的作用;激光能量密度、脉冲宽度、重复频率和激光束扫描速度等参数对金属试样加工表面质量有重要的影响。