高重复率、高平均功率窄线宽KrF准分子激光系统的研究 上传者：qq_42279 2021-02-23 23:24:03上传 PDF文件 2.5MB 热度 7次 本文报道—台自制的光学投影亚微米量级微细加工用的KrF准分子激光振荡-放大系统,并对其设计和运转性能加以讨论.该系统在200Hz重复率运转时其谱线漂移小于5×10-4 nm,谱线宽度为2.3×10-8 nm,平均功率达24.4W. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 qq_42279 资源：421 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
