ArF和KrF放电激光器的调谐 上传者：aabadman 2021-02-23 23:23:58上传 PDF文件 1.8MB 热度 49次 用棱镜对充分钝化的双放电受激准分子激光器作简单调谐,结果使ArF和KrF的调谐范围超过20埃。这两种调谐都不是连续的,为自吸收区域内的非激射小孔所中断。双棱镜组的色散使KrF线宽为1~2埃,ArF线宽小于0.5埃。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
