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ArF和KrF放电激光器的调谐

上传者: 2021-02-23 23:23:58上传 PDF文件 1.8MB 热度 10次
用棱镜对充分钝化的双放电受激准分子激光器作简单调谐,结果使ArF和KrF的调谐范围超过20埃。这两种调谐都不是连续的,为自吸收区域内的非激射小孔所中断。双棱镜组的色散使KrF线宽为1~2埃,ArF线宽小于0.5埃。
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