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真空紫外和紫外激光器的反射镜和涂层

上传者: 2021-02-23 23:23:45上传 PDF文件 3.56MB 热度 14次
本文第一部分讨论了真空紫外和紫外激光器适用的各种反射镜基片和涂层材料的一般特性。这一部分集中探讨波长复盖在200埃左右到大于3200埃范围里应用的具体材料。
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