高效外腔光谱合束半导体激光器阵列

利用包含透射光栅的外腔反馈结构,使半导体激光器阵列中各发光单元工作波长不相同,实现了各发光单元激射波长的啁啾。通过外腔镜使各个发光单元出射光束重叠及方向一致,实现半导体激光器阵列的光谱合束,从而提高半导体激光器的光束质量。采用前腔面镀有增透膜的激光器阵列实现功率为52.2 W的连续波激光输出,电-光转换效率达到47.9%,光谱线宽为15.17 nm。整个阵列输出光束的光参量积达到3.7 mm·mrad,与阵列中单个发光单元的光束质量基本一致。