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激光诱导化学在微电子学中的应用

上传者: 2021-02-23 22:51:15上传 PDF文件 2.58MB 热度 5次
近年来,激光诱导的多相化学反应已作为多种新颖加工工艺,在微电子元件生产中得应用。激光诱导化学的研究本身又有助,于对固体表面光控制反应本质产生新的认识与理解。
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