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用二元光学方法制作的高效率衍射光栅

上传者: 2021-02-23 19:03:04上传 PDF文件 1.23MB 热度 8次
用二元光学理论讨论高衍射效率的光栅的原理及其制作方法.并用微电子工艺做出了二次量化四位相台阶的光栅,实验测得一级衍射效率为68%。
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