微细光刻中部分相干系统成像研究

分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程,结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和。得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质:部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统,频率的调制是通过照明函数的变化来实现的。提出了进一步提高光刻分辨力的新途径。